ZO-2/ZB-1/ZY-1真空测量仪

型号：ZO-2/ZB-1/ZY-1

产品概述

ZO-2是双通道热偶真空测量仪。真空测量范围100kPa-0.1Pa ZB-1薄膜规-热偶规复合真空测量仪在ZO-2 热偶真空测量仪基础上增加了一路薄膜规管，用于测量100kPa-0.1Pa之间的真空度。本仪器可同时测量两路真空度，其中真空室1由热偶规管1和薄膜规管分段复合测量。

技术参数

仪器在较高的真空度条件下(P小于10Pa),可以根据热偶规管测量的真空度动态校准薄膜规的零点。补偿它的温飘及零飘。由此，薄膜规可获得更好的使用性能。 由MCY-1介绍可知，压阻规粗真空性能很好，ZY-1压阻规－热偶规复合测量仪用压阻规代替薄膜规，其他性能同ZB-1.

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